主要特點(diǎn)：
可單靶或雙靶工作，雙靶工作時(shí)，兩個(gè)靶的材料和尺寸都可以不同，每個(gè)靶的濺射電流可分別設(shè)定；單靶工作時(shí)也可以減少電荷累積引起的異常放電。適合于鍍制碳化物、氧化物、氮化物等膜層，雙靶運(yùn)用可方便控制成分比。
1、DSP數(shù)字化控制/精度高/重復(fù)性好，配有控制面板和控制程序。
2、具有過流、過熱、過壓、短路保護(hù)。
3、控制方式：恒壓、恒流、恒功率
4、冷卻方式：風(fēng)冷；風(fēng)冷+水冷
5、根據(jù)用戶要求預(yù)留PLC遠(yuǎn)控接口（遠(yuǎn)控功能）
主要參數(shù)：
空載電壓≥800V，工作電壓：200-750V
正負(fù)極性平均電流獨(dú)立穩(wěn)流，穩(wěn)流精度1%
脈沖頻率：5KHZ-40KHZ，連續(xù)可調(diào)或定頻40KHZ
脈沖占空比：10%-80%，連續(xù)可調(diào)
電話： 028-83988111 13658068539 
傳真：13658068539 
地址：成都新都區(qū)班竹園鎮(zhèn)鴉雀口四組 
